DB500擁有自主可控的場發射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態鎵離子源，擁有高穩定、高質量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機構，擁有24個擴展口，配置全面，自主可控，擴展性強，為您打造全能納米分析和加工中心。

DB500擁有自主可控的場發射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態鎵離子源，擁有高穩定、高質量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機構，擁有24個擴展口，配置全面，自主可控，擴展性強，為您打造全能納米分析和加工中心。

010- 82900840

高壓隧道技術

鎵離子束

配置全面

氣體注入器

集成式機械手

質保無憂

產品優勢

高壓隧道技術和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品

“承影”離子鏡筒，高穩定、高質量的離子束流，用于高質量納米加工和TEM制樣樣品倉內壓電陶瓷驅動的機械手，集成式控制方式，操作精準到位

自主可控，擴展性強，集成化設計的離子源更換時間快，極致的售后服務，提供免費的三年質保無憂服務

技術介紹

離子鏡筒"承影"

技術特點

分辨率：3 nm@30 kV

探針電流：1 pA~50 nA

加速電壓范圍：500 V~30 kV

使用壽命：≥1000小時

長時間穩定性：72小時不間斷工作

納米機械手

技術特點

倉內安裝方式

三軸全壓電驅動

步進精度≤10nm

最大移動速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍：室溫~90℃

集成式控制方式

應用案例

金線/30 kV/800X/ETD

芯片/1 kV/1500X/ETD

芯片/1 kV/15000X/ETD

產品參數