VOYAGER

是一個專用的高性能電子束光刻系統這尤其適用于需要在多用戶設施中直接訪問電子束光刻的任何情況。具有智能功能和創新系統架構的全自動超人體工程學系統確保最短的時間獲得結果，使其適用于學術和工業環境。

功能包括

· 高度符合人體工程學的人機界面ErgoFlow

· 獨特的配方圖案技術算法xx

· 靈活的定向形狀填充模式FLEXposure

· 無拼接錯誤的連續寫入模式traxx和periodixx，基于移動平臺技術

· 50 kV熱場發射柱技術

· 全自動寫場校準

· 自動聚焦和消像散裝置

· 高分辨率和高吞吐量寫入模式之間的自動切換

創新、穩定的高性能，易于使用，一切盡在掌握誘人的性價比在儀器的整個壽命期間。VOYAGER電子束光刻系統配有一個耐環境保護罩系統穩定性即使在不太理想的實驗室環境中。

符合人體工程學的界面和自動EBL，可在最短的時間內獲得結果

結合了瑞斯的eWrite技術。eWrite組合專用EBL電子光學圖案發生器設計的最新創新，可自動進行系統校準和批量制造。在整個曝光作業中，所有需要的校正都是逐個像素地“動態”應用的，因此節省了大量的處理時間開銷。根據不同的模式，可以獲得超過1厘米/小時的寫入速度最高分辨率.

自動化程度甚至更進一步，有了新的人體工程學人機界面，ErgoFlow。在這個智能工作流程的幫助下，每個人都可以使用專業光刻技術，無論專業水平如何。ErgoFlow補充了廣泛使用的Raith Nanosuite標準軟件并且由兩個元素組成。
第一步，任何用戶都可以輕松定義EBL作業，然后由更有經驗的用戶在第二步對其進行參數化和執行。憑借VOYAGER獨特的樣品調平系統，即使是手動調平及預對準也能自動完成，從而大大節省了時間提高您的效率.
由于它的簡單易用,ErgoFlow甚至可以在不同的大學院系或工業部門之間利用跨學科研究和樣本交換。

特征：

縫合和覆蓋：

≤ 20納米

束流穩定性：

≤ +/- 0.2 %/h

具有創新架構和獨特應用解決方案的高性能電子束光刻系統

硬件和軟件一直被設計用于自動曝光操作。獨特的軟件功能，如新的基于配方的圖案化技術算法和基于連續移動平臺的寫入模式traxx和periodixx不僅幫助您提高效率，也是為了完善您的設備性能。