樣片尺寸

4英寸向下

8英寸向下兼容

8英寸向下

RF  功率源

0~300W/500W/1000W可調，自動匹配

分子泵

無/620(L/s)/1300(L/s)/定制

無/620(L/s)/1300(L/s)/定制

前級泵

機械泵/干泵

干泵

工藝控壓

不控壓/0~1Torr控壓

氣體種類

H2 /CH4 /O2 /N2 /Ar/SF6 /CF4 / CHF3 /C4F8 /NF3 /定制

(最多9路:不含腐蝕與劇毒氣體

H2 /CH4 /O2 /N2 /Ar/F6 /CF4 / CHF3 / C4F8 /NF3 /Cl2 /BCl3 /HBr

(最多9路)

氣體量程

0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/定制

LoadLock腔

有/無

有

樣片控溫

10℃ ~室溫/ -30℃~100℃/定制

-30℃~100℃/定制

背氦冷卻

有/無

有

工藝腔內襯

有/無

有

腔壁控溫

無/室溫~60/120℃

室溫~60/120℃

控制系統

全自動/定制

刻蝕材料

硅基材料：Si/SiO2 /石英/SiNx…… IV-IV材料：SiC                                   磁性材料/合金材料

金屬材料：Ni/Cr/Al/Au……

有機材料：PR/PMMA/HDMS/有機 膜……

硅基材料：Si/SiO2 /石英/SiNx……         III-V材料(注3)   ：InP/GaAs/GaN…… IV-IV材料：SiC                                            II-VI材料(注3)   ：CdTe……                   磁性材料/合金材料

金屬材料：Ni/Cr/Al/Au……

有機材料：PR/PMMA/HDMS/有機膜