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化合物半導(dǎo)體

高通量樣品制備

掃描電鏡

共聚焦顯微鏡

橢偏儀

刻蝕機(jī)

離子束磁控濺射

磁控濺射

掃描電子顯微鏡原理簡介

發(fā)布日期:2019-10-29 07:46:47瀏覽次數(shù):1979

掃描電鏡一般說的是掃描電子顯微鏡——SEM

掃描電子顯微鏡不同于透射電子顯微鏡(TEM)和光學(xué)顯微鏡的,它是介于二者之間的一種高分辨率樣品檢測設(shè)備掃描電子顯微鏡利用聚焦很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)樣品的各種物理信息,再將收集到的信息進(jìn)行放大進(jìn)行成像從而將物質(zhì)微觀的形貌表征出來

原理介紹.png

掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上并且掃描電子顯微鏡的倍數(shù)連續(xù)可調(diào)。掃描電子顯微鏡的主要特點是景深大,視野,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土石墨陶瓷納米材料等。的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。


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