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化合物半導體

高通量樣品制備

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離子束磁控濺射

磁控濺射

掃描電子顯微鏡應用領域

發布日期:2019-10-29 07:46:32瀏覽次數:1840

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在半導體領域中,掃描電鏡可以用來分析材料成型機理,器件失效分析,工業工藝控制等問題,對研究和生產有著至關重要的作用。

掃描電子顯微鏡的應用大致包含了以下幾個領域:

1材料的表面形貌觀察

通過掃描電鏡觀察材料表面形貌,為研究樣品形態結構提供了便利,有助于監控生產產品質量,改善工藝。觀察的主要內容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結構等。

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2涂鍍層表面形貌分析與鍍層厚度測量

?涂鍍層表面形貌分析

通過對涂層表面形貌觀察與分析涂層顆粒尺寸,涂層與基材結合,可以有效的對涂層質量進行管控。材料斷面的失效分析 、組織內的結構和損傷形貌,都可借助掃描電鏡來判斷和分析。

?涂鍍層厚度測量

涂鍍層厚度直接影響零件或產品的裝飾效果、耐腐蝕性、導電性、產品的可靠性和使用壽命。鍍層厚度在產品質量、過程控制、成本控制中都發揮著重要作用。使用掃描電子顯微鏡能精確測量材料鍍層厚度,且成像清晰,效果直觀。

3材料的微區化學成分分析

分析過程中,獲得形貌放大像后,往往希望能同時進行原位化學成分或晶體結構分析,提供包括形貌、成分、晶體結構或位向在內的更多信息,以便能更全面、客觀地進行判斷分析。

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